9月20日，山东省重大实施类项目——德州有研亿金集成电路用高纯溅射靶材生产项目顺利投产，对促进我国集成电路产业稳定发展具有重要意义。
投产仪式现场（图据：韩哲）
相关负责人介绍，项目位于山东省德州市天衢新区，总建筑面积约4.5万平方米，系中国有研集团所属有研亿金新材料有限公司投资建设，主要用于高纯溅射靶材高端产品的研发与生产制造。该产品是集成电路制造用关键材料之一，在国民经济、国防建设及现代化信息化社会中具有极其重要的战略意义。项目建成投产后，预计年产4.3万块12寸高纯溅射靶材，有助于优化和改善靶材产品结构和生产工艺，强化高纯金属半导体溅射靶材的生产制造，进一步扩大靶材产能，满足国内大规模集成电路行业的需求。
项目全景航拍（图据：韩哲）
“高纯溅射靶材为高端芯片制造重要组成部分，其对吹扫干燥靶材的压缩空气洁净度及湿度有着极高要求。”作为项目建设单位的中国五冶集团相关工作人员表示，在设备安装过程中，项目团队采用了具备环保、高强度优势的铝管材料和专用接头安装，进一步减少施工过程中对管道的污染，保证了压缩空气满足生产需要。为打造百分百高品质现场，项目团队及时优化网络计划、抢抓一切有效施工时间，实现了提前竣工验收，为项目顺利投产打下坚实基础。同时，该项目也因出色的质量管理荣获了德州市建设工程优质结构工程称号。
