2025年1月，尹志尧在北京参加中国经济传媒协会主办的“为中国经济点赞——企业家之夜”活动。（中微公司网站）

尹志尧

中微半导体设备（上海）股份有限公司董事长兼总经理。1944年出生于北京，20世纪80年代起在美国硅谷工作，曾就职于英特尔、泛林半导体、应用材料等公司。2004年归国创业，带领中微公司自主研发刻蚀机、薄膜机等芯片制造关键设备。

一则减持公告，又一次把尹志尧推到了聚光灯下。

1月9日，中微半导体设备（上海）股份有限公司（以下简称中微公司）发布公告称，公司董事长、总经理尹志尧计划减持公司股份数量不超过29万股，占公司总股本比例0.046%，拟减持原因为“本人已从外籍恢复为中国籍，为依法办理相关税务的需要”。这也是首次“官宣”80多岁的尹志尧已恢复中国国籍。该公告并未给出尹志尧恢复中国国籍的具体时间，但不少人通过中微公司往期公告发现：至少2024年6月之前，他还是美国国籍。

为何尹志尧的国籍如此受关注？他曾在美国硅谷工作多年，参与并领导开发的刻蚀设备，几乎占到了全世界的一半。他被称为微观设备领域的“最强大脑”之一。2004年，他归国创业，如今中微公司市值已超2000亿元。

外界对尹志尧的赞誉有很多，他并不习惯，常对媒体说：“集成电路和半导体设备是千百万人的集成努力，不要太过分地突出一个人的作用。一个人是做不成任何事情的，需要大家联合作战，才能把这个产业向前推进。”

归国创业

2004年，尹志尧60岁，就职于美国半导体设备制造巨头应用材料公司，担任亚洲总部首席技术官。这时，他做了一个决定：回国，到上海创业。

这让不少人感到意外。王昌燧是尹志尧在中国科学技术大学的本科校友，当时在中国科学院大学当教授。他好奇地问尹志尧：“你是北京人，回国怎么不到北京工作，跑去上海开公司？”尹志尧的回答是：因为江上舟。

“江上舟曾担任上海市经济委员会副主任，中国的大飞机、芯片等国家战略产业的发展，背后都有他的贡献。”王昌燧对《环球人物》记者说。在一场国际半导体设备展上，江上舟与尹志尧不期而遇，现场观摩了应用材料公司展示的芯片制造设备。

芯片制造离不开光刻机、刻蚀机、薄膜沉积设备这“三剑客”。尹志尧曾形象地比喻道：若把芯片制造比作雕刻，光刻机就是勾勒电路图这一“雕刻线稿”的画笔；刻蚀机是剔除多余部分、雕琢出完整“作品”的刻刀；薄膜沉积设备则是提供前两者作业的“红纸”。

“某种意义上，光刻机的精度要求，相当于用一束激光平整一块面积堪比德国大小的土地，误差需控制在正负1毫米内；刻蚀机的要求更严苛，要用头发丝粗细的钻头打井，一年要打出100万万亿个孔，且99.99%以上的孔必须完全一致。”尹志尧直言，这般极致的标准，在很大程度上制约着芯片产业的发展，让不少国家有心无力。

2019年，中微半导体设备亮相首届长三角一体化创新成果展。（中微公司微博）

那天参观完，江上舟便问尹志尧：“外国公司用它来卡我们集成电路产业的脖子，我们能不能自己把它造出来？”他接着又说：“我是个癌症病人，只剩下半条命，哪怕豁出命去，也要为国家造出刻蚀机。我们一起干吧！”

尹志尧被江上舟的热诚打动。他想，是时候回去为祖国和人民做点贡献了。他很快召集起一支15人的团队。“回国时，我们非常小心，每个人都签字画押，不带回任何文件、数据和设计图纸。后来我们还对竞争者的3000多个专利做了深入分析，确保我们的设计不会侵犯任何人的专利。”

回国后，尹志尧发现创业比想象中更难。第一个难题是“钱”。“像刻蚀机这样的复杂设备，至少需要10亿元甚至20亿元来开发，融资很难。”尹志尧说，幸好有上海市政府的大力支持，“我们的第一笔资金来自一个科教兴市的项目，5000万元。如果项目做成的话，我们就把钱还给政府，没有利息。”

第二个难题是“人”。尹志尧说，集成电路大概要综合50个学科的知识。2004年，国内几乎没有做芯片制造设备的人才，公司只能从物理、化学、机械、材料、自动化这些专业去招聘优秀学生。“经过这些年的培养，现在不少人成了行业顶梁柱。”

尹志尧2004年刚回国时，有一次打车，司机对他说：“您看起来只有38岁！”尹志尧爽朗地笑了，说以后自己就是38岁的人。面对创业路上的种种挑战，不论花甲之年，还是如今年逾八旬，尹志尧始终保持昂扬的斗志。他说：“我的年龄冻住在38岁，现在仍是38岁！”

两度被“挖”

尹志尧回国的深层原因，或许可以再往前追溯。他1944年出生于一个有爱国传统的家庭。祖父尹寿松是安徽桐城人，在清朝末年赴日本留学，回国后在奉天、吉林、热河等地政府任职，扶持发展民族工商业，积极参加抗战。尹志尧的父亲也在海外留学后，回国参加新中国建设。

1962年，尹志尧考入中国科学技术大学化学物理系。“那时，系主任是郭永怀先生。”王昌燧说。1968年，郭永怀带着一份绝密资料从青海基地赶往北京，飞机不幸坠毁。找到他的遗体时，在场的人无不失声痛哭——郭永怀与警卫员紧紧地抱在一起，那个装有绝密资料的公文包夹在两人中间，数据资料完好无损。后来，郭永怀以烈士身份被追授“两弹一星”功勋奖章。

“我是在红旗下长大的，‘根’在这儿。”尹志尧曾这样说。

1987年，尹志尧（右）与导师唐有祺在美国加州合影。（北京大学网站）

据王昌燧介绍，尹志尧本科毕业后被分配到甘肃工作。“1978年，他考入北京大学化学系，攻读硕士学位，导师是很有名的唐有祺院士。1980年，他就到美国加州大学洛杉矶分校读博了。”

尹志尧去美国时，已经36岁。他拿到物理化学博士学位后，入职英特尔中心技术开发部，成了一名工艺工程师。尹志尧曾回忆：“第一天去英特尔，我就傻眼了。我以为这里都是美国人在工作，实际上在中心技术开发部，不论研究组的组长，还是能干的工程师，大多是华人。”在美国集成电路史上，华人发挥了重要作用，尹志尧后来成为其中之一。

在英特尔，尹志尧的主要任务之一是评估泛林半导体的设备。他发现了设备的很多问题，并提出意见，英特尔决定不再购买泛林半导体的设备。而泛林半导体后来决定“挖”尹志尧去帮他们改进设备。

“我去的时候，泛林半导体已经处在崩溃的边缘，但我还是去冒了这个风险，因为我已经基本上想出来怎样能把设备做好了。5年之内，我们做了好几个产品，泛林半导体变成国际上很强的刻蚀机公司。”

泛林半导体的快速发展，抢占了应用材料公司的市场份额。1991年，尹志尧又被应用材料公司“挖”走。尹志尧说，当时之所以选择应用材料公司，一是因为它更国际化，各国的人在那里都有不错的发展；二是它有多种产品，而不是只做刻蚀机。

此后十几年，他在应用材料公司历任等离子体刻蚀设备产品总部首席技术官、总公司副总裁及等离子体刻蚀事业群总经理、亚洲总部首席技术官，使该公司的刻蚀机业务做到国际领先。

员工偶像

中微公司如何与国际巨头竞争？尹志尧曾多次在采访中提到“创新”和“差异化”。例如，在产品设计上，外企的设备，一个反应台一次可以加工一片12英寸硅片，而中微公司的设备可以一次加工两片。“增加产能输出，有效降低客户成本，用这样的竞争优势，我们才能快速进入市场。”

2007年6月，中微公司迎来关键突破：首台双反应台电容性等离子体刻蚀设备研制成功，并交付国内客户。这台设备可应用于12英寸晶圆产线，覆盖65纳米至45纳米芯片生产，一举实现国产高端刻蚀设备从0到1的跨越。2018年，中微公司自主研发的刻蚀机更进一步，成功打入客户的5纳米芯片产线。

“作为企业家，尹志尧懂业务，知道公司该朝哪个方向发展；他也懂用人，这个领域牵扯方方面面，善用人才很重要。”王昌燧说，尹志尧是个情商很高、很讲感情的人，校友找他，他能帮的忙都尽量帮。2025年10月，校友在上海聚会，尹志尧临时有工作，但饭后还是赶来和老朋友们聊聊天。“情商高的企业家，能让公司氛围更好，留住更多人才。”

2019年7月22日，尹志尧（右一）在上海证券交易所出席科创板开板仪式。中微公司成为首批登陆科创板的25家公司之一。（视觉中国）

尹志尧在创立中微公司之初便推行全员持股。作为创始人，他本人仅持有公司0.7%的股份。

曾在中微公司工作的王女士告诉《环球人物》记者，在员工眼中，尹志尧“实诚、有趣”“没什么架子”“尽管80多岁了，但脚步稳健，声音年轻”“有人格魅力”。这影响着公司的气质。“中微公司比较温暖、人性化，而且富有朝气。员工大多有很强的求知欲和探索欲，对自己所处行业有自豪感。”王女士表示，她参与公司招聘工作时，有不少求职者说“尹总是我的偶像”。

当下，席卷全球的AI浪潮，正为半导体产业带来新一轮的发展机遇。芯谋研究首席分析师顾文军对《环球人物》记者说，AI发展对国内半导体行业的影响可以总结为三个维度：一是新技术平权效应，在AI赛道上，中国企业与国际巨头差距有限，带动半导体全产业链共享发展红利；二是拉动市场需求，既催生了海量AI算力芯片需求，也助推消费电子、物联网等产业崛起，进一步使半导体行业规模扩容；三是推动技术迭代，AI技术赋能芯片研发、制造等全环节，显著提升产业整体效率。在此背景下，中微公司正凭借持续加码的研发投入和科研能力，让公司的技术储备进入加速积累阶段。

中微公司的办公楼前有一座石碑，正面刻着公司名称，背面刻着一篇《中微创业记》。王女士说，“那是2024年秋天，中微成立20周年时尹总写下的。”文章最后一句既是他的愿景，也是他的担当：“挑战诸多，登高望远，唯有坚定信念，勇往直前。”

《环球人物》记者 许晔 陈佳莉